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半導体のナノ単位とは

2022年11月03日 21:27

最先端半導体で量産できるのは現在4ナノである。台湾のTSMCしか出来ない。サムスン電子も出来るとは言えなくもないが、歩留まりが悪く、量産体制には入っていない。
ナノとはどういうレベルか。1μmはよく聞くだろうが、mmに直せば1/1000mmが1μmになる。
1μmの厚さはどういうものがあるか。水道の蛇口の外装はクロムメッキが使われている。
このクロムメッキの厚さが0.2μm~0.5μm程度である。車のフロントグリルも外装にはクロムメッキ
が使われている。このクロムの厚みも0.5μm程度。1μmの約1/2の厚みである。
例えば平面に1μmの穴が全面にあるとしても人間の眼では平面にしか見えない。
その1μmの1/1000が1ナノとなる。いわば1/1000000mmとなる。
半導体にはこのような線幅のラインが形成されている。
2ナノの線が2ナノ間隔に形成されているとラインアンドスペース(L/S)が2となる。
このような線がどのように形成されるのか。
これはもう神の領域かも知れない。一般の人の全く知り得ない半導体製造装置があり、
半導体用の材料がある。そして半導体製造している所は尋常ではないクリーンルーム設備
が必要であるのは当然の事だ。
普通メッキと言えば、ボルトに使われている亜鉛メッキを思い浮かべる人も多いだろう。
だが半導体にはかなりのメッキ技術が使われている。半導体製造には絶対に欠かす事が出来ない。
Siウエハー上にも真空で形成されるスパッタ技術もある。
プリント板はメッキによってパターンが形成される。
まあ半導体製造のすべての工程を詳しく知っている人はほとんどいない。

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